| 專利名稱: | 一種制備無過孔全有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810240080.2 |
| 申請日期: | 2008-12-17 |
| 專利號: | CN101752504A |
| 第一發(fā)明人: | 劉舸 劉明 劉興華 商立偉 王宏 柳江 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制備無過孔全有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法，包括：清洗干凈柔性塑料襯底；使用光刻和剝離工藝在塑料襯底上制備出器件的柵電極；在器件區(qū)域內(nèi)通過接觸式微區(qū)旋涂在柵電極上涂敷有機(jī)柵介質(zhì)；烘烤有機(jī)柵介質(zhì)，在有機(jī)柵介質(zhì)上光刻出源漏電極的圖形；再次蒸鍍金屬電極，該電極引線直接從源漏電極上跨過柵介質(zhì)邊緣連到塑料襯底上；剝離光刻膠后得到圖形化了的全有機(jī)場效應(yīng)晶體管器件的電極圖；真空蒸鍍有機(jī)半導(dǎo)體層，完成器件的制作。利用本發(fā)明，在工藝上是與成熟的光刻工藝相兼容，且工藝過程中回避了制作過孔的過程，簡化了工藝流程從而保證了器件的性能。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出