| 專利名稱: | 采用有源層圖形化制備有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810240085.5 |
| 申請日期: | 2008-12-17 |
| 專利號: | CN101752508A |
| 第一發(fā)明人: | 劉舸 劉明 劉興華 商立偉 王宏 柳江 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種采用有源層圖形化制備有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法，包括：在絕緣襯底上涂敷光刻膠；光刻得到柵電極圖形；蒸發(fā)或沉積金屬電極材料；用丙酮剝離不需要的金薄膜得到器件的柵電極圖形；在柵電極上蒸發(fā)或沉積一層絕緣介質(zhì)層材料；在絕緣介質(zhì)層材料上勻膠后光刻得到器件源漏電極的圖形；再次蒸發(fā)或沉積金屬電極材料，剝離后得到器件的源漏電極圖形；沉積生長有機(jī)半導(dǎo)體薄膜，完成有源層圖形化的有機(jī)場效應(yīng)晶體管的制備。利用本發(fā)明，對有源層的圖形化工藝簡單，沒有增加光刻步驟，主要依靠柵介質(zhì)的臺階特性實現(xiàn)器件隔離和有源層的圖形化。另外，本方法也與成熟的光刻工藝兼容，降低了成本，有利于工業(yè)生產(chǎn)。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出