| 專利名稱: | 利用苯并環(huán)丁烯制作介質(zhì)橋的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910077671.7 |
| 申請日期: | 2009-02-11 |
| 專利號: | CN101800189A |
| 第一發(fā)明人: | 程偉 金智 蘇永波 劉新宇 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種利用苯并環(huán)丁烯制作介質(zhì)橋的方法，包括以下步驟：在基片上涂布光刻膠，光刻橋面；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋面；在基片上涂布光刻膠，光刻橋墩；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋墩；在基片上涂布苯并環(huán)丁烯，并高溫固化；利用干法刻蝕將多余的苯并環(huán)丁烯刻蝕掉，直至露出橋墩為止；在苯并環(huán)丁烯上涂布光刻膠，光刻橋墩引線；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋墩引線。本發(fā)明制作的介質(zhì)橋，采用苯并環(huán)丁烯作為介質(zhì)，其橋面長度不像傳統(tǒng)空氣橋那樣受到最大跨度的限制，解決了傳統(tǒng)空氣橋工藝中橋面容易發(fā)生斷裂的問題。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出