| 專利名稱: | 利用聚酰亞胺制作介質(zhì)橋的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910077675.5 |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-02-11 |
| 專利號(hào): | CN101800191A |
| 第一發(fā)明人: | 程偉 金智 蘇永波 劉新宇 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種利用聚酰亞胺制作介質(zhì)橋的方法，包括以下步驟：在基片上涂布光刻膠，光刻橋面；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋面；在基片上涂布光刻膠，光刻橋墩；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋墩；在基片上涂布聚酰亞胺，并高溫固化；利用干法刻蝕將多余的聚酰亞胺刻蝕掉，直至露出橋墩為止；在聚酰亞胺上涂布光刻膠，光刻橋墩引線；蒸發(fā)金屬，剝離后形成橋墩引線。本發(fā)明制作的介質(zhì)橋，采用聚酰亞胺作為介質(zhì)，其橋面長度不像傳統(tǒng)空氣橋那樣受到最大跨度的限制，解決了傳統(tǒng)空氣橋工藝中橋面容易發(fā)生斷裂的問題。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出