| 專利名稱: | 一種平面結(jié)構(gòu)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910077679.3 |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-02-11 |
| 專利號(hào): | CN101800287A |
| 第一發(fā)明人: | 劉舸 劉明 劉興華 商立偉 王宏 柳江 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種平面結(jié)構(gòu)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制作方法，該方法包括：步驟1、在絕緣基底表面涂上光刻膠；步驟2、對(duì)涂光刻膠的絕緣基底進(jìn)行光刻，得到柵介質(zhì)圖形；步驟3、在柵介質(zhì)圖形上生長(zhǎng)一層?xùn)沤橘|(zhì)薄膜；步驟4、剝離得到柵介質(zhì)圖形，再次進(jìn)行光刻得到源電極圖形、漏電極圖形和柵電極圖形；步驟5、電子束蒸發(fā)源、漏和柵的電極金屬，剝離得到電極圖形；步驟6、蒸鍍有機(jī)半導(dǎo)體材料，完成器件的制作。利用本發(fā)明得到的平面結(jié)構(gòu)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管，減少了工藝流程提高的器件的集成度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出