| 專利名稱: | 一種在線檢測硅納米晶形態(tài)的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910078556.1 |
| 申請日期: | 2009-02-25 |
| 專利號: | CN101813624A |
| 第一發(fā)明人: | 劉明 王永 王琴 楊瀟楠 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種在線檢測硅納米晶形態(tài)的方法，包括：準備若干片硅片作為襯底，在該各襯底表面分別生長一隧穿介質(zhì)層；用稀釋氫氟酸處理襯底表面，再在該各襯底表面分別生長一層硅納米晶；利用波長為365nm的單色光作為入射光入射至各襯底表面，由于表面材料和形貌的不同，反射光強必然會發(fā)生變化，記錄各種生長時間的納米晶硅片的反射率，建立生長時間與反射率之間的關(guān)系式；將以上各種硅片用掃描電鏡和透射電鏡進行破片分析，確定不同生長時間納米晶的形態(tài)，建立不同納米晶形態(tài)與生長時間的關(guān)系式；將納米晶不同形態(tài)與反射率對應(yīng)起來，建立相應(yīng)的關(guān)系式，從而根據(jù)反射率來確定生長的納米晶形態(tài)。利用本發(fā)明，實現(xiàn)了對硅納米晶形態(tài)的在線快速檢測。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出