| 專利名稱: | 復(fù)合膠電鍍制作空氣橋的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200410001433.5 |
| 申請日期: | 2004-01-08 |
| 專利號: | CN1641837 |
| 第一發(fā)明人: | 邵剛 劉新宇 和致經(jīng) 劉鍵 吳德馨 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 一種復(fù)合膠電鍍制作空氣橋的方法，其特征在于，包括如下步驟：1)在基片上涂復(fù)合膠，光刻橋墩；2)高溫烘烤，使復(fù)合膠邊角圓滑；3)在復(fù)合膠上濺射起鍍層；4)在起鍍層上涂二次光刻膠，光刻橋面；5)光刻橋面后在起鍍層上電鍍金屬；6)剝離去除光刻膠以下的起鍍層，使之露出兩側(cè)的基片，形成空氣橋。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出