| 專利名稱: | 適用于氮化鎵器件的鋁/鈦/鋁/鎳/金歐姆接觸系統(tǒng) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200410058035.7 |
| 申請日期: | 2004-08-09 |
| 專利號: | CN1734730 |
| 第一發(fā)明人: | 魏 珂 和致經 劉新宇 劉 健 吳德馨 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及半導體技術領域，特別是一種適用于AlGaN/GaN HEMT器 件的新型歐姆接觸Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系統(tǒng)。新型結構的歐姆接觸 Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工藝寬容度，可以在較低680℃-760℃的情況，獲 得滿意的歐姆接觸特性。該技術的合金溫度、合金時間有很大的選擇范圍， 降低了工藝難度，擴大了工藝寬容度，提高了工藝的重復性。獲得比較理 想的合金形貌。這些優(yōu)勢是現有其它歐姆接觸技術所不具備的。 |
| 其它備注: | |
科研產出