| 專利名稱: | 適用于氮化鎵器件的鈦/鋁/鈦/鉑/金歐姆接觸系統(tǒng) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200410058036.1 |
| 申請日期: | 2004-08-09 |
| 專利號: | CN1734731 |
| 第一發(fā)明人: | 魏 珂 和致經(jīng) 劉 健 劉新宇 吳德馨 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種適用于AlGaN/GaN HEMT器 件的歐姆接觸Ti/Al/Ti/Pt/Au的合金系統(tǒng)。新型結(jié)構(gòu)的歐姆接觸Ti/Al/Ti/Pt/Au， 具有很大的工藝寬容度，可以在較低780℃的情況，獲得滿意的歐姆接觸 特性，并得到理想的合金形貌，降低了器件研制的難度。這一技術(shù)對于摻 雜和非摻雜樣品同樣適用。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出