| 專利名稱: | 光-機械式雙層結(jié)構(gòu)非制冷紅外成像焦平面陣列 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200510012264.X |
| 申請日期: | 2005-07-28 |
| 專利號: | CN1904568 |
| 第一發(fā)明人: | 李超波 焦斌斌 陳大鵬 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利摘要: | 一種用于獲取并轉(zhuǎn)換紅外信號的光-機械式雙層結(jié)構(gòu)非制冷紅外成像 焦平面陣列，包括按陣列分布的微懸臂梁單元，微懸臂梁單元中包含熱 變形結(jié)構(gòu)和紅外吸收板，熱變形結(jié)構(gòu)為兩組且對稱連接于紅外吸收板的 兩側(cè)。整個微懸臂梁單元為側(cè)向支撐的無襯底雙層結(jié)構(gòu)，熱變形結(jié)構(gòu)由 熱隔離梁和變形梁構(gòu)成上下層回折式分布，紅外吸收板與熱變形結(jié)構(gòu)連 接，熱變形結(jié)構(gòu)與支撐梁連接，每組熱變形結(jié)構(gòu)由至少一根熱隔離梁和 至少一根變形梁組成，所述的微懸臂梁單元采用順序平鋪的方式構(gòu)成陣 列。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出