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專(zhuān)利名稱(chēng): 基于自組裝技術(shù)的交叉陣列結(jié)構(gòu)有機(jī)器件制備方法
專(zhuān)利類(lèi)別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200510109338.1
申請(qǐng)日期: 2005-10-13
專(zhuān)利號(hào): CN1949475
第一發(fā)明人: 王叢舜 胡文平 涂德鈺 姬濯宇 劉 明
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專(zhuān)利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專(zhuān)利證書(shū)號(hào):
專(zhuān)利摘要: 一種交叉線陣列結(jié)構(gòu)有機(jī)分子器件的制備方法,其工藝步驟如下:
1.在基片表面上淀積絕緣薄膜;2.在絕緣薄膜表面上旋涂抗蝕劑,光
刻得到下電極圖形;3.蒸發(fā)、剝離金屬得到交叉線下電極;4.旋涂抗
蝕劑,光刻得到與下電極交叉的上電極圖形;5.蒸發(fā)、剝離金屬得到上
電極;6.液相法自組織生長(zhǎng)有機(jī)分子材料;7.干法刻蝕多余的有機(jī)分
子材料,完成交叉線有機(jī)分子器件的制備。
其它備注: