專(zhuān)利名稱(chēng): | 基于自組裝技術(shù)的交叉陣列結(jié)構(gòu)有機(jī)器件制備方法 |
專(zhuān)利類(lèi)別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200510109338.1 |
申請(qǐng)日期: | 2005-10-13 |
專(zhuān)利號(hào): | CN1949475 |
第一發(fā)明人: | 王叢舜 胡文平 涂德鈺 姬濯宇 劉 明 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
專(zhuān)利摘要: | 一種交叉線陣列結(jié)構(gòu)有機(jī)分子器件的制備方法,其工藝步驟如下: 1.在基片表面上淀積絕緣薄膜;2.在絕緣薄膜表面上旋涂抗蝕劑,光 刻得到下電極圖形;3.蒸發(fā)、剝離金屬得到交叉線下電極;4.旋涂抗 蝕劑,光刻得到與下電極交叉的上電極圖形;5.蒸發(fā)、剝離金屬得到上 電極;6.液相法自組織生長(zhǎng)有機(jī)分子材料;7.干法刻蝕多余的有機(jī)分 子材料,完成交叉線有機(jī)分子器件的制備。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出