| 專利名稱: | 一種硅基有機發(fā)光微顯示金屬陽極及陰極隔離柱的制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200510123888.9 |
| 申請日期: | 2005-11-24 |
| 專利號: | CN1972545 |
| 第一發(fā)明人: | 歐 毅 李大勇 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 一種硅基有機發(fā)光微顯示(OLED)金屬陽極及陰極隔離柱的制備方 法，屬于微電子器件制備技術(shù)領(lǐng)域，其工藝步驟如下：1.在硅基片表 面上光刻出金屬陽極圖形；2.在光刻出圖形的硅片表面用電子束蒸發(fā)出 鉻/銀薄膜；3.超聲剝離；4.反轉(zhuǎn)光刻陰極隔離柱圖形，完成制作。OLED 具有可實現(xiàn)柔軟顯示、色彩鮮艷、響應(yīng)速度快、抗低溫及工藝簡單等優(yōu) 點，可廣泛應(yīng)用于視頻顯示領(lǐng)域。本發(fā)明方法具有成本低和工藝簡單的 優(yōu)點。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出