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專利名稱: 一種非平面溝道有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200510130758.8
申請(qǐng)日期: 2005-12-28
專利號(hào): CN1996636
第一發(fā)明人: 于 貴 狄重安 劉洪民 劉云圻 劉新宇 徐新軍 孫艷明 王 鷹 吳德馨 朱道本
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本發(fā)明是一種非平面溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu),包括襯底、柵極電極、
絕緣層、源漏電極和有機(jī)半導(dǎo)體;其在襯底上沉積和圖案化柵極以后,
順次構(gòu)筑第一層絕緣層、源電極、第二層絕緣層和漏電極,最后沉積有
機(jī)半導(dǎo)體層,至少包括一層有機(jī)膜。本發(fā)明金屬層的厚度為30~300納
米,溝道長(zhǎng)度0.3~150微米。
其它備注: