專利名稱: | 一種非平面溝道有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管 |
專利類別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200510130758.8 |
申請(qǐng)日期: | 2005-12-28 |
專利號(hào): | CN1996636 |
第一發(fā)明人: | 于 貴 狄重安 劉洪民 劉云圻 劉新宇 徐新軍 孫艷明 王 鷹 吳德馨 朱道本 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | 本發(fā)明是一種非平面溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu),包括襯底、柵極電極、 絕緣層、源漏電極和有機(jī)半導(dǎo)體;其在襯底上沉積和圖案化柵極以后, 順次構(gòu)筑第一層絕緣層、源電極、第二層絕緣層和漏電極,最后沉積有 機(jī)半導(dǎo)體層,至少包括一層有機(jī)膜。本發(fā)明金屬層的厚度為30~300納 米,溝道長(zhǎng)度0.3~150微米。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出