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專利名稱: 一種雙線圈推拉式射頻微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)
專利類別:
申請?zhí)?/strong>: 200720149743.0
申請日期: 2007-06-20
專利號(hào): CN201117591
第一發(fā)明人: 李全寶 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本實(shí)用新型涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)應(yīng)用中的射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF
MEMS)技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種雙線圈推拉式RF MEMS開關(guān),該射頻微
機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)包括扭擺梁開關(guān)可動(dòng)部分、電磁驅(qū)動(dòng)部分和傳輸線部分,在
電磁驅(qū)動(dòng)部分的平面線圈加電流產(chǎn)生的磁場與電磁驅(qū)動(dòng)部分的永磁體產(chǎn)
生的磁場相疊加,改變整體磁場的方向,驅(qū)動(dòng)扭擺梁開關(guān)可動(dòng)部分動(dòng)作,
接通或斷開扭擺梁開關(guān)可動(dòng)部分與傳輸線部分,實(shí)現(xiàn)觸點(diǎn)通斷。利用本實(shí)
用新型,提高了開關(guān)壽命,解決了現(xiàn)有電磁驅(qū)動(dòng)RF MEMS開關(guān)存在的
缺陷,降低了功耗,改善了開關(guān)的穩(wěn)定性,降低了加工的復(fù)雜度。
其它備注: