| 專利名稱: | 大面積平板常壓射頻冷等離子體系統(tǒng) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200920108533.6 |
| 申請日期: | 2009-05-27 |
| 專利號: | CN201414256 |
| 第一發(fā)明人: | 王守國 張超前 趙玲利 楊景華 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利摘要: | 本實用新型公開了一種大面積平板常壓射頻冷等離子體系統(tǒng)，包括一 外殼、射頻電源、供氣源、等離子體發(fā)生器、溫度控制系統(tǒng)和支架；在一 個外殼內，有兩個表面彼此平行且相互絕緣的電極，一個與射頻電源連接 叫射頻電極，另一個與地連接叫地電極；在該射頻電極和該地電極之間形 成等離子體的放電區(qū)間；在該放電區(qū)間的兩側和一端設有絕緣材料，該兩 側的絕緣材料使兩個電極位置相對固定并使電極兩側對外密封，在一端的 絕緣材料上開設有通氣孔，該通氣孔通過進氣導管與供氣源連接；在該兩 個電極的另一端開設有長條形的開口，通過該開口可以輸送基片進入等離 子體的放電區(qū)間或從放電區(qū)間中取出基片；在地電極的底部設有一個加熱 器來調節(jié)地電極上的溫度。 |
| 其它備注: | |
科研產出