| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 用于犧牲層釋放的二氧化碳固態(tài)升華裝置 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200920107674.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-05-06 |
| 專(zhuān)利號(hào): | CN201427858 |
| 第一發(fā)明人: | 景玉鵬 惠瑜 高超群 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于犧牲層釋放的二氧化碳固態(tài)升華裝置，該 裝置至少包括過(guò)濾器(1)、暫存罐(2)、恒流恒壓泵(3)、流量計(jì)(4)、 主工作腔室(5)、溫度壓力控制裝置(7)和分離器(10)，其中，過(guò)濾器 (1)、暫存罐(2)、恒流恒壓泵(3)、流量計(jì)(4)、主工作腔室(5)和 分離器(10)依次連接，溫度壓力控制裝置(7)連接于主工作腔室(5)， 分離器(10)連接于過(guò)濾器(1)，分離器(10)與過(guò)濾器(1)構(gòu)成循環(huán) 回路。利用本實(shí)用新型，有效地解決了犧牲層釋放工藝中的粘連效應(yīng)。同 時(shí)，二氧化碳在相態(tài)轉(zhuǎn)換時(shí)壓力可調(diào)，消除了有機(jī)置換液凝固時(shí)的漲裂現(xiàn) 象。二氧化碳的使用更加綠色環(huán)保，無(wú)有機(jī)污染，節(jié)約資源。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出