| 專利名稱: | 常壓射頻低溫冷等離子體放電通道裝置 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200420004986.1 |
| 申請日期: | 2004-03-18 |
| 專利號: | CN2682773 |
| 第一發(fā)明人: | 王守國 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利摘要: | 本實用新型公開一種常壓射頻低溫冷等離子體放電通道裝置，包括供氣源，放電通道主體和射頻電源，放電通道主體包括倒U形的外殼，其內部頂表面上設置有頂面絕緣體，兩個內部側表面上分別設置有側面絕緣體；設置在頂面絕緣體的下表面上，位于兩個側面絕緣體之間并與射頻電源相連的第一平板電極；及第二平板電極，其與外殼的開口端相連，與第一平板電極相對且平行，第二平板電極與第一電極相互絕緣，第二電極的中部設置有通孔，第一和第二平板電極及兩個側面絕緣體圍成一個四周封閉、兩端開口、橫截面為長方形的長方體狀的放電通道，供氣源通過導管和通孔與放電通道連通。本實用新型等離子體放電裝置，能夠以較低擊穿電壓產生均勻大面積的等離子體。 |
| 其它備注: | |
科研產出