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專利名稱: 大面積平板常壓射頻冷等離子體系統(tǒng)
專利類別: 實(shí)用新型
申請?zhí)?/strong>: 200920108533.6
申請日期: 2009-05-27
專利號:
第一發(fā)明人: 王守國, 張超前, 趙玲利, 楊景華
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號: ZL200920108533.6
專利摘要:
其它備注: 八室二組