專利名稱: | 適用于增強(qiáng)型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件的柵退火方法 |
專利類別: | 發(fā)明 |
申請?zhí)?/strong>: | 200710303895.6 |
申請日期: | 2007-12-26 |
專利號: | |
第一發(fā)明人: | 黎明, 徐靜波, 付曉君 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號: | ZL200710303895.6 |
專利摘要: | |
其它備注: | 十一室 |
科研產(chǎn)出