| 專利名稱: | 微電子機(jī)械系統(tǒng)光學(xué)解復(fù)用器芯片的制備方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710064865.4 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-03-28 |
| 專利號(hào): | |
| 第一發(fā)明人: | 歐毅, 陳大鵬, 孫雨南, 崔芳, 董立軍, 劉輝, 韓勁東 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | ZL200710064865.4 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出