| 專利名稱: | 平板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相淀積設(shè)備的反應(yīng)室結(jié)構(gòu) |
| 專利類別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710303894.1 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-12-26 |
| 專利號(hào): | |
| 第一發(fā)明人: | 劉訓(xùn)春, 周宗義, 李兵, 張育勝, 王佳, 張永利 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | ZL200710303894.1 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 八室四組 |
科研產(chǎn)出