| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 一種靜電推拉式單晶硅梁射頻微機(jī)電系統(tǒng)開(kāi)關(guān) |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710064879.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-03-28 |
| 專(zhuān)利號(hào): | |
| 第一發(fā)明人: | 劉茂哲, 景玉鵬, 陳大鵬, 歐毅, 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | ZL200710064879.6 |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | 八室一組 |
科研產(chǎn)出