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專利名稱: 采用電子束直寫曝光制作聲表面波器件的方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 200810222329.7
申請日期: 2008-09-17
專利號: 200810222329.7
第一發(fā)明人: 趙以貴，劉明，牛潔斌
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: