| 專利名稱: | 二氧化碳超臨界流體半導(dǎo)體清洗設(shè)備 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200810227485.2 |
| 申請(qǐng)日期: | 2008-11-26 |
| 專利號(hào): | 200810227485.2 |
| 第一發(fā)明人: | 景玉鵬，高超群 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出