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專利名稱: 等離子體浸沒離子注入設(shè)備
專利類別: 實用新型
申請?zhí)?/strong>: 201020238000.2
申請日期: 2010-06-25
專利號: 201020238000.2
第一發(fā)明人: 劉杰 汪明剛 夏洋 李超波 羅威 羅曉晨 李勇滔
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: