| 專利名稱: | 用于雙腔式結(jié)構(gòu)等離子體浸沒(méi)離子注入的隔板裝置 |
| 專利類別: | 實(shí)用新型 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201020250591.5 |
| 申請(qǐng)日期: | 2010-07-07 |
| 專利號(hào): | 201020250591.5 |
| 第一發(fā)明人: | 劉杰 汪明剛 夏洋 李超波 羅威 羅曉晨 李勇滔 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出