專利名稱: | 多功能離子束濺射設(shè)備 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910083499.6 |
申請(qǐng)日期: | 2009-05-06 |
專利號(hào): | 200910083499.6 |
第一發(fā)明人: | 龍世兵,劉明,陳寶欽,謝常青,賈銳,徐連生 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
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科研產(chǎn)出