專利名稱: | 一種InP HBT器件側(cè)墻的制備方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110165262.X |
申請(qǐng)日期: | 2011-06-20 |
專利號(hào): | |
第一發(fā)明人: | 郭建楠,金智,蘇永波,王顯泰 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出