專利名稱: | 一種亞波長極紫外金屬透射光柵及其制作方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110279269.4 |
申請(qǐng)日期: | 2011-09-20 |
專利號(hào): | |
第一發(fā)明人: | 李海亮,謝常青,劉明,李冬梅,史麗娜,朱效立 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請(qǐng)日期: | |
國外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出