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專利名稱: 一種基于高精度PID控制溫度的原子層沉積設(shè)備
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201110309540.4
申請日期: 2011-10-13
專利號(hào):
第一發(fā)明人: 王燕,李勇滔,夏洋,趙章琰,石莎莉
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要:
其它備注: