專利名稱: | 刻蝕系統(tǒng)工藝腔室 |
專利類別: | 外觀設(shè)計(jì) |
申請?zhí)?/strong>: | 201130402092.3 |
申請日期: | 2011-11-04 |
專利號(hào): | |
第一發(fā)明人: | 席峰,胡冬冬,屈芙蓉,劉訓(xùn)春,李勇滔,李楠,張慶釗,夏洋 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出