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專利名稱: 制備大高寬比結(jié)構(gòu)器件的方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201110021340.9
申請日期: 2011-01-19
專利號:
第一發(fā)明人: 謝常青,辛將,朱效立,高南,劉明
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: