| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 一種制備金屬氮化物阻擋層的裝置及其使用方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明專(zhuān)利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110033685.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-01-31 |
| 專(zhuān)利號(hào): | |
| 第一發(fā)明人: | 王文東 夏洋 李超波 李勇滔 劉邦武 劉訓(xùn)春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出