| 專利名稱: | 化學(xué)機(jī)械平坦化方法和后金屬柵的制作方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | PCT/CN2011/072643 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-04-12 |
| 專利號(hào): | |
| 第一發(fā)明人: | 楊濤 劉金標(biāo) 賀曉彬 趙超 陳大鵬 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出