專利名稱: | 已減薄或劃片的氮化鎵基場(chǎng)效應(yīng)管的退火處理方法 |
專利類別: | 發(fā)明 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910307846.9 |
申請(qǐng)日期: | 2009-09-28 |
專利號(hào): | 200910307846.9 |
第一發(fā)明人: | 趙妙 王鑫華 劉新宇 魏珂 鄭英奎 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請(qǐng)日期: | |
國外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
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專利摘要: | |
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科研產(chǎn)出