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專利名稱: 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置
專利類別: 實用新型
申請?zhí)?/strong>: 201120527128.5
申請日期: 2011-12-15
專利號: 201120527128.5
第一發(fā)明人: 竇偉,李楠,李超波,夏洋
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: