專利名稱: | 懸空鰭片及環(huán)柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制備方法 |
專利類別: | 發(fā)明 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | PCT/CN2011/071062 |
申請(qǐng)日期: | 2011-02-17 |
專利號(hào): | US8,361,869 |
第一發(fā)明人: | 周華杰,宋毅,徐秋霞 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出