| 專利名稱: | 提高后柵工程金屬插塞化學(xué)機(jī)械平坦化工藝均勻性的方法 |
| 專利類(lèi)別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | PCT/CN2011/000692 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-04-20 |
| 專利號(hào): | US8409986 |
| 第一發(fā)明人: | 楊濤,趙超,李俊峰 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出