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專利名稱: 以氮化鋁為勢壘層的Mo基金屬柵疊層結(jié)構(gòu)的刻蝕方法
專利類別: 發(fā)明
申請?zhí)?/strong>: 201010157538.5
申請日期: 2010-04-21
專利號: ZL201010157538.5
第一發(fā)明人: 李永亮,徐秋霞
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: 十室