| 專利名稱: | 一種金屬柵極/高K柵介質(zhì)疊層結(jié)構(gòu)的制備和成形方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201010145261.4 |
| 申請(qǐng)日期: | 2010-04-09 |
| 專利號(hào): | ZL201010145261.4 |
| 第一發(fā)明人: | 徐秋霞,李永亮 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出