專(zhuān)利名稱(chēng): | 一種摻氮氧化鋅薄膜的制備方法 |
專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110287076.3 |
申請(qǐng)日期: | 2011-09-23 |
專(zhuān)利號(hào): | 201110287076.3 |
第一發(fā)明人: | 劉鍵,饒志鵬,萬(wàn)軍,夏洋,李超波,陳波,黃成強(qiáng),石莎莉,李勇滔 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
專(zhuān)利摘要: | |
其它備注: | 八室一組 |
科研產(chǎn)出