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專利名稱: 多能離子注入實現(xiàn)階梯狀摻雜濃度分布的方法
專利類別: 發(fā)明
申請?zhí)?/strong>: 201110412636.3
申請日期: 2011-12-12
專利號: 201110412636.3
第一發(fā)明人: 湯益丹,申華軍,白云,李博,周靜濤,劉煥明,楊成樾,劉新宇
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: 四室