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專利名稱: 復(fù)合光子篩投影式光刻系統(tǒng)
專利類別: 發(fā)明
申請?zhí)?/strong>: 201110234020.1
申請日期: 2011-08-16
專利號: 201110234020.1
第一發(fā)明人: 謝常青,高南,華一磊,朱效立,李海亮,史麗娜,李冬梅,劉明
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: 三室一組