專利名稱: | 一種形成微電子芯片間互連的方法 |
專利類別: | 發(fā)明 |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110055243.1 |
申請(qǐng)日期: | 2011-03-08 |
專利號(hào): | 201110055243.1 |
第一發(fā)明人: | 于大全,宋崇申 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請(qǐng)日期: | |
國外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | 九室一組 |
科研產(chǎn)出