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專利名稱: 等離子體浸沒注入機的注入離子劑量檢測控制裝置
專利類別: 發(fā)明
申請?zhí)?/strong>: 201010255068.6
申請日期: 2010-08-17
專利號: 201010255068.6
第一發(fā)明人: 汪明剛,劉杰,夏洋,李超波,陳瑤,趙麗莉,李勇滔
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: 八室一組