| 專(zhuān)利名稱: | 等離子體刻蝕工藝腔室內(nèi)表面的改性處理方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201010209823.7 |
| 申請(qǐng)日期: | 2010-06-25 |
| 專(zhuān)利號(hào): | 201010209823.7 |
| 第一發(fā)明人: | 劉邦武,王文東,夏洋,李超波 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | 八室一組 |
科研產(chǎn)出