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專利名稱: 一種制備體硅圍柵金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的方法
專利類別: 發(fā)明
申請?zhí)?/strong>: 200910243780.1
申請日期: 2009-12-24
專利號: ZL200910243780.1
第一發(fā)明人: 宋毅,周華杰,徐秋霞
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: 十室