專利名稱: | 一種制備體硅圍柵金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的方法 |
專利類別: | 發(fā)明 |
申請?zhí)?/strong>: | 200910243780.1 |
申請日期: | 2009-12-24 |
專利號: | ZL200910243780.1 |
第一發(fā)明人: | 宋毅,周華杰,徐秋霞 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出