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專利名稱: 半導體器件結構及其制作方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201010242704.1
申請日期: 2010-07-30
專利號: ZL201010242704.1
第一發(fā)明人: 鐘匯才
其它發(fā)明人: 鐘匯才;梁擎擎;尹海洲
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況: 授權
專利證書號: ZL201010242704.1
專利摘要:
其它備注: 中國科學院微電子研究所