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專利名稱: 具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器及其制作方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 201010223502.2
申請(qǐng)日期: 2010-06-30
專利號(hào): 201010223502.2
第一發(fā)明人: 陳新瑤
其它發(fā)明人: 周敬然,張海英
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號(hào): 201010223502.2
專利摘要:
其它備注: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所