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專利名稱: 柵極堆疊的制造方法和半導(dǎo)體器件
專利類別: 國(guó)際專利
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: PCT/CN2010/001437
申請(qǐng)日期: 2010-09-19
專利號(hào): US8716095
第一發(fā)明人: 王文武
其它發(fā)明人: 鐘匯才;駱志炯;梁擎擎
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號(hào): US8716095
專利摘要:
其它備注: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所